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Planspiegel
Planar Mirrors

Planspiegel ( Umlenkspiegel oder Faltspiegel)

Plane Spiegel innerhalb eines CO2-Lasers ( Strahlquelle ) werden häufig als resonatorinterne Spiegel oder Faltspiegel bezeichnet. Außerhalb der Strahlquelle werden diese Planspiegel zur Versorgung der Maschinenachsen mit dem Laserlicht in der Regel als Umlenkspiegel bezeichnet (Strahlführung).

Diese Spiegel werden in der Regel aus Silizium oder Kupfer hergestellt. Kupferspiegel bieten durch die hohe Wärmeleitfähigkeit speziel bei direkt wassergekühlter Ausführung allerdings höchste Formstabilität.

Silizium-, und Kupferspiegel werden nahezu ausschließlich mit hochreflektierenden Beschichtungen eingesetzt.

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Planar Mirror Planar MirrorPlanar Mirror

Technische Eigenschaften

 

Maximale Größe
550mm x 800mm (bzw. ø800mm)
Ebenheiten
ca. 0.1µm/100mm*
Rauheiten
ca. 1 bis 5nm Ra*
 
*abhängig von Material und Struktursteifigkeit

Materialien

  • sauerstofffreies Kupfer (OFHC-CU)
  • Silikon
  • Aluminum
  • Aluminiumlegierungen (6082 und 6061 bevorzugt)
  • Messing
  • Kunststoffe (meist PMMA)
  • Kristalle
  • alle Nicht-Eisen-Metalle